정밀가공

정밀가공 사업은 30년의 기술 노하우와 우수한 인재, 60대의 다양한 가공 및 측정, 분석 설비를 바탕으로 반도체, 항공 사업 등 IT 분야의 핵심 부품을 대량 생산 및 연구 개발 할 수 있는 우수한 능력을 가지고 있습니다.

적용분야

반도체 부품, 항공 부품

정밀세정

초정밀 세정 기술은 반도체 제조공정 후 발생된 오염원을 다양한 세정 방법으로 오염원 제거 및 Recycle을 통해 제품 수명 연장과 특성 복원을 진행하며, 품질 고도화 및 기술 개발을 통해 고객사 FAB 제조공정의 안정화를 실현시켜 고객의 공정 수율 및 장비 가동률 향상의 극대화를 실현하고 있습니다.

적용분야

Etch 세정, Metal 세정, CVD세정, Diffusion 세정

특수코팅

초정밀 코팅 기술은 반도체 제조공정 중 Plasma Chamber에 사용되는 부품의 코팅을 통해 Particle 및 분위기 안정, 부품 수명연장 등 수율 및 생산성 향상을 실현하고 있습니다.

주요 코팅기술로는 APS, SPS, DLC, INC 등이 있습니다.

적용분야

BELLJAR, CERAMIC DOME 등